袖珍表面粗糙度儀在集成電路半導體中的應用

更新時間：2022-07-25

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　　袖珍表面粗糙度儀具有測量精度高、測量范圍寬、操作簡便、便于攜帶、工作穩定等特點，可以廣泛應用于各種金屬與非金屬的加工表面的檢測，該儀器是傳感器主機一體化的袖珍式儀器，具有手持式特點，更適宜在生產現場使用。外形采用拉鋁模具設計，堅固耐用，抗電磁干擾，符合當今設計新趨勢。

　　被測零件是平面時，可以直接把表面粗糙度儀放在被測零件上，讓表面粗糙度儀探針接觸被測零件表面，按下表面粗糙度儀測量按鍵，此時需要保證表面粗糙度儀不能有任何的晃動、或震動，手不能接觸表面粗糙度儀和被測零件，大約10秒鐘后測量完畢。

　　被測零件是曲面或凹槽或小孔等不同形狀時，需要根據零件形狀要求，選配不同的傳感器探頭和測量平臺進行測量，因每個客戶的被測零件形狀不同，故表面粗糙度的檢測方法也各不相同，需根據零件詳細給出測量方案。

　　測量工件表面粗糙度時，將傳感器放在工件被測表面上，由儀器內部的驅動機構帶動傳感器沿被測表面做等速滑行，傳感器通過內置的銳利觸針感受被測表面的粗糙度，此時工件被測表面的粗糙度引起觸針產生位移，該位移使傳感器電感線圈的電感量發生變化，從而在相敏整流器的輸出端產生與被測表面粗糙度成比例的模擬信號，該信號經過放大及電平轉換之后進入數據采集系統。

　　隨著袖珍表面粗糙度儀的技術和功能不斷加強和完善，以及深入的推廣和應用，越來越多的行業被發現會需求粗糙度的檢測，除機械加工制造外，電力、通訊、電子，如交換機上聯軸器、集成電路半導體等生產加工過程中也需粗糙度的評定，甚至人們生活中使用的文具、餐具、人的牙齒表面都要用到表面粗糙度的檢驗。

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